☆真空要素技術
真空要素技術 |
必要機材 |
必要機材の種類 |
真空を作る |
真空ポンプ |
ロータリーポンプ・拡散ポンプ・ターボ分子ポンプ |
真空を測る |
真空計 |
ピラニー真空計・ペニング真空計・電離真空計 |
真空部品 |
バルブ等 |
|
真空継手 |
バイオネット |
フランジ式・クランプ式・（溶接式） |
真空系の構成 |
表面処理 |
サニタリー管・化学研磨管・電解研磨管 |
真空層内材料 |
断熱材等 |
アルミ箔・ディクスターペーパー・ゲッター材 |
リークテスト |
ディテクター |
ヘリウムリークディテクター |
真空保持 |
ベーキング |
真空ポンプ・ヒーター・断熱材等 |
真空封じ切り |
オペレーター |
真空バルブ・シールオフ弁 |
真空断熱配管の種類は、流体の種類（流体温度）、コスト、設置スペース等の条件により断熱方式を選定します。